石英玻璃是一種以二氧化硅(SiO?)為單一成分的玻璃,具有耐高溫、膨脹系數低、耐熱震性、化學穩定性和電絕緣性能良好,滿足了半導體工業對載具材料中堿金屬和重金屬含量的要求。
石英玻璃的物理特性
- 硬度與耐熱性 :硬度達莫氏七級,耐高溫性能可靠,長期使用溫度可達1100-1200℃,短期可耐受1400℃以上高溫。
- 熱穩定性:線膨脹系數是普通玻璃的1/10-1/20,抗熱震性極佳,適合極端溫度環境。
- 化學穩定性:除氫氟酸、熱磷酸外,對大多數酸具有良好耐受性,化學穩定性強。
- 光學性能:透明石英玻璃在紫外到紅外線范圍內透射性能可靠,常用于光學儀器和光導纖維。
- 電絕緣性 :電阻值是普通玻璃的1萬倍,高溫下仍保持良好絕緣性能。電導率低,適合電氣設備。
- 耐輻射性 :可耐紫外線和紅外線輻射,適用于戶外設備。
- 透光性能:可透過紫外到紅外線全波段,可見光透過率93%以上,紫外光譜區透射比達80%以上,保障光學觀測設備清晰度。
- 耐腐蝕性:除氫氟酸外,幾乎不與酸類物質反應,耐酸性能是陶瓷的30倍、不銹鋼的150倍。
石英玻璃的應用領域
- 電子與半導體 :用于半導體制造設備、電子元件封裝。
- 軍工與國防 :耐高溫、耐腐蝕,用于航天器、武器系統。
總之,
石英玻璃用于制作半導體、電光源器、半導通信裝置、激光器,光學儀器,實驗室儀器、電學設備和耐高溫耐腐蝕的化學儀器、化工、電子、冶金、建材等工業,應用十分廣泛。
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